溅射靶材是制造半导体器件的基础原料。它是在真空室中将一种或多种元素按不同的比例,用高能量激光束照射到一块纯金属表面上,使其发生物理、化学反应而形成一层薄膜。这样就得到了各种不同性质的薄膜,从而可以制作出所需要的特殊电路。
溅射靶材是制造半导体器件的基础原料。它是在真空室中将一种或多种元素按不同的比例,用高能量激光束照射到一块纯金属表面上,使其发生物理、化学反应而形成一层薄膜。这样就得到了各种不同性质的薄膜,从而可以制作出所需要的特殊电路。
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